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一、流程概述

    特殊氣體配比裝置主要采用控制加入特殊氣體的流量來(lái)達(dá)到特殊氣體按一定比例混合的目的。一般情況下，是控制含量較少的氣體的流量， 一臺(tái)氣體配比裝置主要由特殊氣體流量計(jì)、特殊氣體分析儀、PID控制器、流量調(diào)節(jié)閥、壓力表、混合罐、機(jī)箱等組成。

二、原理說(shuō)明：

特殊氣體分析儀測(cè)量得到混合罐內(nèi)的特殊氣體含量，特殊氣體分析儀將所測(cè)得的含量轉(zhuǎn)換成4～20mA信號(hào)，傳送給PID控制器，PID控制器將此信號(hào)轉(zhuǎn)換成機(jī)械信號(hào)向流量調(diào)節(jié)閥發(fā)出動(dòng)作指令，指揮流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度大小，流量調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度大小決定了混合罐內(nèi)的特殊氣體含量，在不斷調(diào)節(jié)中，從而達(dá)到特殊氣體按一定比例混合的目的。
 

三、裝置特點(diǎn)
    1、特殊氣體分析儀：選用高精度特殊氣體分析儀，測(cè)量精確，可靠性高，反應(yīng)迅速。此特殊氣體分析儀帶4～20mA信號(hào)輸出。

2、PID控制器：選用日本SHIMANDEN產(chǎn)PID控制器，控制精度高，能迅速將獲得的信號(hào)與設(shè)定值對(duì)比，并快速發(fā)出指令，保證控制的準(zhǔn)確度和精度。同時(shí)快速的反應(yīng)能保證特殊氣體含量的穩(wěn)定。

3、流量控制閥：選用高靈敏度調(diào)節(jié)閥，閥門(mén)動(dòng)作幅度小，不會(huì)出現(xiàn)急開(kāi)急關(guān)的情況，能很好控制氫氣的供給量，從而保證特殊氣體含量的穩(wěn)定性。

4、設(shè)備整體箱式結(jié)構(gòu)，方便安裝，節(jié)省空間。

5、PID控制主要是基于含量設(shè)定值與含量實(shí)際值的差別來(lái)實(shí)現(xiàn)控制的。當(dāng)實(shí)際值低于設(shè)定值時(shí)，PID指揮調(diào)節(jié)閥開(kāi)大流量，當(dāng)實(shí)際值高于設(shè)定值時(shí)，PID指揮調(diào)節(jié)關(guān)小流量，如此不斷往復(fù)，最終達(dá)到平衡，即設(shè)定值與實(shí)際值的統(tǒng)一。

四、工藝流程圖：